无锡冠亚智能装备有限公司
Chiller 双变频
元器件高低温测试 半导体chiller
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓
循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡
氨检测，安规检测，确保系统安全可靠兴
经过24小时连续运行拷机
| 型号 | FLTZ-203W/2T双系统 | FLTZ-305W/2T 双系统 | FLTZ-406W/2T 双系统 | |||
| 温度范围 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |||||
| 流量/压力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制热 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 内循环液容积 | 5L | 8L | 8L | |||
| 膨胀罐容积 | 15L | 25L | 25L | |||
| 导热介质 | 氟化液、防冻液、导热硅油等 | |||||
| 制冷剂 | R404A/ R448 | |||||
| 导热介质接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 电源 | 三相220V / 三相400V /三相460V | |||||
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |||||
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