LNEYA 帕尔贴热电制冷器Chiller有五款款型号可选，为晶圆蚀刻工艺提供可靠和jing确的温度控制
- 高可靠性和低使用成本；工业空间占用率小；ji低的导热液填充量；
- 低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能耗；
- 制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接触；动态控温，jing准控制过程温度，快速温度响应；
- 温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳定；gai善Wafer-Wafer的稳定性；模块化部件使得维修更加方便；使用全氟液体。
| 型号 |
TEC-1200W |
TEC-2500W |
TEC-4500W |
| 温度范围 |
-20℃~90℃ |
| 控温精度 |
±0.1℃ |
| 制冷能力 |
20℃ |
1200W |
2450W |
4500W |
| 10℃ |
900W |
1925W |
3500W |
| 0℃ |
600W |
1400W |
2600W |
| -10℃ |
350W |
875W |
1600W |
| -20℃ |
80W |
350W |
700W |
| 制热能力 |
＞3000W |
＞6000W |
＞12000W |
| 泵类型 |
直流磁力泵 |
| 压力（bar） |
≤4 |
| 流量 |
15L/min at 2bar |
| 流体 |
Galden HT135 |
| 冷却水温度 |
DI＜20℃ |
| 冷却水流量 |
≥12L/min |
≥20L/min |
≥32L/min |
| CDA开启温度 |
＜30℃ |
| CDA压力 |
0.5-0.8bar |
| CDA流量 |
2-3m³/h |
| CDA露点温度 |
≤30℃ |
| 电源电压 |
AC208V,三相电压 |
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