Chiller换热型 系统无压缩机
Chiller高精度冷热循环器
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原理:CHILLER 是通过换热器,将厂务水与载冷介质进行换热,循环泵驱动载冷介质循环,并且同时实现精准控温功能,适用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域加热冷却。
核心技术与优势:
1.加热冷却一体化设备:设备结构简单,应用换热器即可实现连续升降温,5-90℃温度范围快速加热冷却。
2.精准控温:采用PID算法或PLC控制,实现温度波动≤±0.05℃,适用于精密制造场景。
3.多场景适配:支持纯水、乙二醇、导热油等不同介质使用。
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