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Chiller换热型 系统无压缩机

Chiller换热型 系统无压缩机

原理:CHILLER 是通过换热器,将厂务水与载冷介质进行换热,循环泵驱动载冷介质循环,并且同时实现精准控温功能,适用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域加热冷却。
核心技术与优势:

1.加热冷却一体化设备:设备结构简单,应用换热器即可实现连续升降温,5-90℃温度范围快速加热冷却。
2.精准控温:采用PID算法或PLC控制,实现温度波动≤±0.05℃,适用于精密制造场景。
3.多场景适配:支持纯水、乙二醇、导热油等不同介质使用。

CHUILLR无压缩机换热型系列
型号 ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
设定温度范围 冷却水温度+5℃~90℃
运行条件 载冷剂出口温度 冷却水温度+5℃
冷却水温度 7℃~30℃
载冷剂额定流量 15LPM 40LPM 60LPM 110LPM 200LPM 400LPM 600LPM
冷却水额定流量 0.9m³/h 1.5m³/h 3.6m³/h 6.4m³/h 13.4m³/h 27.4m³/h 41.4m³/h
储罐容积 10L 10L 15L 30L 60L 120L 240L
冷却能力 5kW 15kW 30kW 60kW 100kW 200kW 300kW
加热功率(选配) 1kW 3kW 6kW 12kW 20kW 40kW 60kW
控温精度 ±1℃(可选配电加热定制±0.1℃)
控制模式 循环液出口温度控制
工件负载温度控制(选配)
工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度(动态控温)
流量压力MAX 15LPM@3bar 40LPM@3bar 60LPM@3bar 110LPM@2.5bar 200LPM@2.5bar 400LPM@2bar 600LPM@2bar
操作面板 7寸彩色触摸屏显示设定温度和测量温度,记录温度曲线,数据导出采用excel格式
10寸彩色触摸屏显示设定温度和测量温度,记录温度曲线,数据导出采用excel格式
安全防护 具有自我诊断功能;循环泵过载保护;介质出口高压保护,过欠压、过流保护、低液位保护、热保护装置等多种安全保障功能。
载冷剂 去离子水,乙二醇水溶液,氟化液
载冷剂接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 1/4 Rc2 DN65 DN80
冷却水接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1  1/4 Rc2 DN65 DN80
电源 380 VAC ± 10%,三相(可定制)/220 VAC ± 10%,三相(可定制)
总用电功率(max) 1kW 3kW 4kW 5kW 6kW 8kW 10kW
含电加热总功率(max) 6kW 6kW 10kW 17kW 26kW 48kW 70kW
外壳材质 冷轧板喷塑 (RAL7035)
通信协议 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERCAT、LONWORKS等。
水冷外形尺寸cm 40*80*80 45*85*85 50*90*105 60*120*150 60*130*160 65*135*160 70*180*160
非标定制 配杂质过滤器或离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能

 

额定测试条件:一次侧厂务水流量波动范围需稳定在±5%

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