三通道系列Chiller

2025/07/23 Chiller高精度冷热循环器 101

三通道系列 Triple Channel Chiller

产品特点

特点一控温范围：-20℃～+100℃，控温精度：±0.1℃

特点二优化系统传热设计，节省循环液使用量

特点三三通道整合，支持每个通道独立控温范围、导热介质流量

特点四深化性能开发，匹配先进刻蚀工艺需求

产品介绍产品参数

适用范围

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。

公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度，加载情况下控温精度可达±0.1C，可在-20℃~+100℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。

型号	FLTZ-203W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
温度范围	-10℃～+60℃	+30℃～+80℃	-10℃～+80℃
温度稳定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
冷却能力	4kW@-10℃/21kW@+20℃	6 kW@+30℃	3kW@-10℃
加热能力	4kW	4.5+6kW	3kW
流量/压力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
导热介质接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
环境温度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
环境湿度	30～70%	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷却水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
断路器	100A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型号	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
温度范围	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
温度稳定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
冷却能力	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
加热能力	2kW	6kW	Pump Heat Loss
流量/压力 MAX	30L/min 0.85MPa	30L/min 0.85MPa	20L/min 0.8MPa
导热介质接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
环境温度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
环境湿度	30～70%	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷却水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
断路器	75A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型号	FLTZ-203W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
温度范围	-10℃～+60℃	+30℃～+80℃	-10℃～+80℃
温度稳定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
冷却能力	4kW@-10℃/21kW@+20℃	6 kW@+30℃	3kW@-10℃
加热能力	4kW	4.5+6kW	3kW
流量/压力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
导热介质接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
环境温度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
环境湿度	30～70%	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷却水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
断路器	100A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型号	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
温度范围	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
温度稳定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
冷却能力	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
加热能力	2kW	6kW	Pump Heat Loss
流量/压力 MAX	30L/min 0.85MPa	30L/min 0.85MPa	20L/min 0.8MPa
导热介质接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
环境温度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
环境湿度	30～70%	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷却水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
断路器	75A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

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产品列表

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