双通道系列Chiller 2025/07/23 Chiller高精度冷热循环器 141 双通道系列 Dual Channel Chiller 产品特点 特点一控温范围：-45℃~+90℃，控温精度：±0.1℃ 特点二采用先进的变频技术，实现产品⾼效节能 特点三先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发 特点四符合SEMI标准，可根据客户需求定制产品
产品介绍产品参数<span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start"></span><span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start"><span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start"></span></span> 适用范围 FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。 每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。 加载情况下控温精度可达士0.1℃，可在-45℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。 型号 FLTZ-203W-2T 管道 通道1 通道2 温度范围 -20℃～+90℃ -20℃～+90℃ 控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） 制冷量 4kW@-10℃ 4kW@-10℃ 加热能力 2kW 2kW 流量/压力 MAX 20L/min 0.5MPa 20L/min 0.5MPa 导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4 环境温度 10～35℃ 10～35℃ 环境湿度 30～70% 30～70% 冷却水温度 15～20℃ 15～20℃ 冷却水流量 20L/min 20L/min 断路器 30A ⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） 重量 400kg 外形尺寸 cm 50*90*160 型号 FLTZ-406W/ETCU-015W 管道 通道1 通道2 温度范围 -45℃～+40℃ +10℃～+80℃ 温度稳定度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） 冷却能力 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ 13kW@+10℃ 加热能力 2kW 6kW 流量/压力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4 环境温度 10～35℃ 10～35℃ 环境湿度 30～70% 30～70% 冷却水温度 15～20℃ 15～20℃ 冷却水流量 40L/min 20L/min 断路器 80A ⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） 重量 550kg 外形尺寸 cm 60*100*185 型号 FLTZ-203W/2T双系统 FLTZ-305W/2T 双系统 FLTZ-406W/2T 双系统 温度范围 -20℃~90℃ -30℃~90℃ -45℃~90℃ 控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） 流量/压力 MAX 15~45L/min 6bar 制热 2.5kW 2.5kW 2.5kW 2.5kW 3.5kW 3.5kW 制冷量 3kW at-15℃ 3kW at-15℃ 5kW at-15℃ 5kW at-15℃ 2.5kW at -35℃ 2.5kW at -35℃ 内循环液容积 5L 5L 8L 8L 8L 8L 膨胀罐容积 15L 25L 25L 导热介质 氟化液、防冻液、导热硅油等 制冷剂 R404A/ R448 导热介质接口 ZG3/4 冷却水接口 ZG3/4 冷却水 50L/min at20℃ 60L/min at20℃ 50L/min at20℃ 电源 三相220V / 三相400V /三相460V ⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） 型号 FLTZ-203W-2T 管道 通道1 通道2 温度范围 -20℃～+90℃ -20℃～+90℃ 控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） 制冷量 4kW@-10℃ 4kW@-10℃ 加热能力 2kW 2kW 流量/压力 MAX 20L/min 0.5MPa 20L/min 0.5MPa 导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4 环境温度 10～35℃ 10～35℃ 环境湿度 30～70% 30～70% 冷却水温度 15～20℃ 15～20℃ 冷却水流量 20L/min 20L/min 断路器 30A ⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） 重量 400kg 外形尺寸 cm 50*90*160 型号 FLTZ-406W/ETCU-015W 管道 通道1 通道2 温度范围 -45℃～+40℃ +10℃～+80℃ 温度稳定度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） 冷却能力 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ 13kW@+10℃ 加热能力 2kW 6kW 流量/压力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4 环境温度 10～35℃ 10～35℃ 环境湿度 30～70% 30～70% 冷却水温度 15～20℃ 15～20℃ 冷却水流量 40L/min 20L/min 断路器 80A ⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） 重量 550kg 外形尺寸 cm 60*100*185 型号 FLTZ-203W/2T双系统 FLTZ-305W/2T 双系统 FLTZ-406W/2T 双系统 温度范围 -20℃~90℃ -30℃~90℃ -45℃~90℃ 控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） 流量/压力 MAX 15~45L/min 6bar 制热 2.5kW 2.5kW 2.5kW 2.5kW 3.5kW 3.5kW 制冷量 3kW at-15℃ 3kW at-15℃ 5kW at-15℃ 5kW at-15℃ 2.5kW at -35℃ 2.5kW at -35℃ 内循环液容积 5L 5L 8L 8L 8L 8L 膨胀罐容积 15L 25L 25L 导热介质 氟化液、防冻液、导热硅油等 制冷剂 R404A/ R448 导热介质接口 ZG3/4 冷却水接口 ZG3/4 冷却水 50L/min at20℃ 60L/min at20℃ 50L/min at20℃ 电源 三相220V / 三相400V /三相460V ⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） 上一篇: 单通道系列Chiller 下一篇: 三通道系列Chiller
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