新闻中心

多通道半导体老化测试系统的模块化设计及功能模块介绍

2025/07/31 5

在半导体器件的可靠性测试领域，多通道老化测试系统凭借并行处理能力与灵活配置特性，成为满足大规模量产测试需求的核心装备之一。其模块化设计不仅简化了系统搭建与维护流程，更通过标准化接口实现了测试场景的...

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半导体Chiller设备在光刻、刻蚀与薄膜沉积中的应用实践

2025/07/25 21

在晶圆制造过程中，温度控制的准确性直接影响光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工艺的稳定性与产品良率。半导体Chiller设备作为温度控制的核心装置之一，通过制冷与加热的动态调节，为不同制程提供稳定的温度环境。 　...

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快速温变半导体老化测试箱的温度调控机制与效率优化方法

2025/07/25 16

在半导体器件可靠性评估领域，快速温变半导体老化测试箱通过准确控制温度变化速率与循环周期，为加速器件老化过程提供了关键技术支撑。其核心优势在于通过模拟苛刻温度变化环境，缩短传统老化测试所需的时间周期...

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工业级半导体老化测试chamber结构优化与长期稳定运行的技术实现

2025/07/25 15

在半导体制造的可靠性测试环节，工业级半导体老化测试chamber需在长期高负荷运行中保持稳定性能，以满足大规模器件测试的连续性与准确性要求。其耐用性设计涉及机械结构、温控系统、材料选择及防护机制等多个维度...

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涂胶显影水冷机Photo/Track Chiller如何提升光刻胶均匀性

2025/07/17 41

在半导体涂胶显影制造过程中，涂胶显影水冷机Photo/TrackTrack chiller作为工艺温控的设备，通过准确的温度调节与稳定散热的能力，为光刻、刻蚀、涂胶显影等关键制程提供稳定的热管理支持，其技术性能直接影响制...

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单通道冷水机Single Channel Chiller在工业制造中的应用

2025/07/17 15

在工业制造领域，组件的性能直接影响整机运行精度与使用周期。单通道冷水机single channel chiller通过准确控制低温环境，为材料性能优化提供了全新工艺路径，在机械制造、化工等领域展现出应用价值。这种基于超...

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双通道水冷机Dual Channel Chiller在材料改性中的应用

2025/07/17 17

在半导体制造领域，苛刻温度环境对材料性能的影响研究一直是重要课题。其中，双通道水冷机dual channel chiller在半导体材料、高分子材料等领域的性能优化中展现出应用价值。 双通道水冷机通过复叠制冷技术实现...

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半导体涂胶显影水冷机系统研究：制冷循环稳定性与智能控制优化

2025/07/10 11

在半导体涂胶显影工艺中，涂胶显影水冷机作为关键温控设备之一，其稳定运行直接影响工艺精度与产品质量。其主要由制冷循环、循环液回路、控制系统及辅助组件构成，在长期运行中可能因各环节原理性特性引发一系列...

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半导体用高精度涂胶显影冷水机系统研究：闭环温控机制、多模块协同设计

2025/07/10 13

半导体涂胶显影工艺是光刻流程的关键环节之一，涂胶显影冷水机通过准确的温度调节与稳定的热交换机制，为这一过程提供基础保障，其工作原理与应用特性适配涂胶显影的技术需求。 一、温度控制的核心机制 涂胶显影...

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半导体光刻水冷机系统故障机理研究：温控偏差成因、泄漏失效分析与介质变质防控

2025/07/10 12

半导体光刻行业对温度控制的精度和稳定性要求严苛，光刻水冷机作为核心温控设备之一，其运行状态直接影响光刻工艺的稳定性。从原理层面分析，光刻水冷机在实际应用中可能面临温度控制偏差、系统泄漏、介质污染等...

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工业级薄膜沉积冷水机PVD Chiller的部件可靠性分析及系统维护策略

2025/07/04 14

薄膜沉积冷水机PVD chiller 作为工业生产中关键的温控设备之一，其控温精度与长期运行稳定性直接影响生产工艺的可靠性与产品质量。 一、系统结构与控温原理设计 薄膜沉积冷水机PVD chiller的系统结构设计以全密...

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复叠式制冷系统三通道水冷机Triple Channel Chiller的温控解决方案

2025/07/04 13

电子制造过程对温度控制的精度与稳定性要求苛刻，从半导体晶圆加工到电子元器件测试，温度波动可能导致产品性能偏差或良率下降。三通道水冷机triple channel chiller作为实现宽温域温控的核心设备之一，其技术架...

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直击现场 | 冠亚恒温亮相CPHI China 2025！

2025/06/25 18

2025年6月24日第二十三届世界制药原料中国展（CPHI）暨第十八届世界制药机械、包装设备与材料中国展 (PMEC)在上海新国际博览中心隆重开幕 作为制药行业控温设备专家冠亚恒温重磅亮相N1-B06、W5-A56展位，展示制...

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半导体单通道直冷机Single Channel Chiller高精度温控解决方案

2025/06/20 20

单通道直冷机Single Channel Chiller作为半导体行业温控的关键设备之一，其技术架构围绕高精度温度控制需求展开。 一、单通道直冷机的技术架构与温控原理 单通道直冷机Single Channel Chiller采用直冷式制冷系统...

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半导体薄膜沉积直冷机PVD chiller维护保养全指南

2025/06/20 19

在半导体制造领域，薄膜沉积工艺对设备的稳定性要求较高，而薄膜沉积直冷机PVD chiller作为关键的温控设备之一，其运行状态直接影响薄膜沉积的质量和效率。做好PVD chiller的日常保养工作，能够减少设备故障，延...

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半导体涂胶显影水冷机选型技术指南：从温控精度到系统集成的四大关键考量

2025/06/18 18

在半导体制造过程中，涂胶显影工艺对设备的温度控制要求较为严格，涂胶显影水冷机作为该工艺的关键配套设备之一，其性能直接影响胶膜质量与芯片良率。科学合理地选择涂胶显影水冷机，需从多个技术维度与实际应用...

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