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Chiller 直冷型
元器件高低温测试 半导体chiller
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半导体行业广泛应用
适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程，对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温
| 型号 | ZLJ-81 | ZLJ-81.5 | ZLJ-82 | ZLJ-83 | ZLJ-84 | ZLJ-86 | ZLJ-88 |
| ZLJ-81W | ZLJ-81.5W | ZLJ-82W | ZLJ-83W | ZLJ-84W | ZLJ-86W | ZLJ-88W | |
| 温度范围 | -80℃～-45℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.5℃ 控制蒸发温度 | ||||||
| 节流方式 | 电子膨胀阀 | ||||||
| 控制器 | PLC | ||||||
| 显示记录 | 7寸触摸屏，记录温度、系统压力等信息 | ||||||
| 制冷部件 | 丹佛斯干燥过滤器、压力传感器、EBM风机（风冷）、丹佛斯/艾默生油分离器、 | ||||||
| 压缩机 | 思科普、泰康、艾默生、卡莱尔 | ||||||
| 制冷剂 | 第一级R404A、第二级R23可选配R508B | ||||||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||||||
| 压缩机 | 7/8匹*2 | 1.5匹*2 | 2匹*2 | 3匹*2 | 4匹*2 | 6匹*2 | 8匹*2 |
| 电源V | 220V 50HZ | 380V 50HZ | |||||
| 型号 | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| 温度范围 | -40℃～-15℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.5℃ 控制蒸发温度 | ||||||
| 节流方式 | 电子膨胀阀 | ||||||
| 控制器 | PLC | ||||||
| 显示记录 | 7寸触摸屏，记录温度、系统压力等信息 | ||||||
| 制冷部件 | 丹佛斯干燥过滤器、压力传感器、EBM风机（风冷）、丹佛斯/艾默生油分离器、 | ||||||
| 压缩机 | 思科普、泰康、艾默生、卡莱尔 | ||||||
| 制冷剂 | R404A 可选配R507C R448 | ||||||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||||||
| 压缩机 | 7/8匹 | 1.5匹 | 2匹 | 3匹 | 4匹 | 6匹 | 8匹 |
| 电源V | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
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