FLTZ-U-D001W/002W/003W 为超纯水温控系列双通道设备,专为双工位同步温控场景设计,两路通道独立运行,可同时为两个制程工位提供jing准、洁净的温度控制,适配半导体、光伏、电子制造等行业。

双通道核心特性为独立控温、互不干扰,CH1 与 CH2 通道拥有独立的制冷循环、介质循环与控制系统,可分别设定温度、流量参数,温度范围均为 + 15℃至 + 40℃,控温jing度 ±0.1℃,满足双工位不同制程温度需求。
型号适配不同冷却负载:FLTZ-U-D001W 冷却能力较小,适配双工位小负载制程,如电子元件测试、小型光伏电池片清洗;FLTZ-U-D002W 冷却能力中等,适配半导体双工位清洗、液晶面板小批量制程;FLTZ-U-D003W 冷却能力较大,适配光伏量产线双工位制绒、锂电池双工位涂布冷却。
运行模式灵活组合,两路通道可独立选择冲洗型或循环型模式。例如,CH1 通道采用冲洗型模式用于jing细清洗,CH2 通道采用循环型模式用于量产冷却,实现一机多用,适配复杂制程场景。
介质系统采用超纯水,电导率 10-18MΩ・cm,每路通道均配备独立过滤器,分别净化介质,防止交叉污染,保障两路介质的洁净度,适配高洁净度制程要求。控制与操作便捷,配备双路独立显示触摸屏,可分别监控与设置两路通道的参数,实时显示温度、流量、运行状态等信息;支持单通道启停与独立参数调节,操作灵活,便于工位单独维护。
节能与适配性方面,两路通道均采用变频技术,可根据各自负载自动调节功率,降低能耗;整机结构紧凑,双通道集成设计,减少占地面积,适配产线空间有限场景;支持通讯协议对接,可接入自动化系统,实现双工位同步监控与数据追溯。
FLTZ-U-D 系列双通道设备以独立控温、灵活适配、洁净运行与节能gao效的特点,为双工位制程提供gao效温控解决方案,提升设备利用率与生产效率。

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