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半导体 chiller 常规型

半导体 chiller 常规型

半导体温控装置

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓

循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡

氨检测,安规检测,确保系统安全可靠兴

经过24小时连续运行拷机

 

半导体投入大,制造工序多,为了提高产品的良品率、确保收益,需要在半导体的每个环节进行质量把控,影响产品质量的其中一个重要因素就是温度,温度的稳定性及精准度非常重要,为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验,我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务,有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号 FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围 5℃~90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量at10℃ 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等(纯净水温度需要控制10℃以上)
进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度(动态控温)
外形尺寸 cm 97*40*108 97*40*108 97*40*108 105*43*140 105*43*140 108*60*150 108*60*150

 

型号 FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
温度范围  -25℃~90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量 MAX 10~25L/min 15~45L/min 25~75L/min
制冷量at-15℃ 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度(动态控温)
外形尺寸 cm 90*45*113 90*45*113 90*45*113 105*50*140 105*50*140 108*60*150 108*60*150

 

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
温度范围  -45℃~90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量/压力 MAX 10~25L/min  5bar 15~45L/min 5bar 25~75L/min 5bar
制热 采用压缩机制热,防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃ 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水接口 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度(动态控温)
外形尺寸 cm 90*45*113 90*45*113 90*45*113 105*50*140 105*50*140 108*60*150 108*60*150
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