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晶圆高低温循环全套测试设备介绍

2026/06/26 1

整片晶圆高低温循环全套设备以 KSD/KSDR-710 大载台接触式冷热机为主机，搭配大流量干燥吹扫系统、多通道数据采集组件，专为整片 8/12 寸晶圆循环实验设计，可完成批量热疲劳可靠性验证，本文完整介绍全套设备构...

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