FLTZ DI 水专用机型混用乙二醇会造成离子污染吗? 2026/07/08 1 FLTZ 分为 DI 纯水专用机型与乙二醇低温机型,二者管路材质、过滤系统、密封配件标准完全区分,部分产线临时降温需求,直接将乙二醇介质加注 DI 水机型循环使用,认为使用后排空清洗即可无残留。大量晶圆湿法清洗... 查看全文