chiller冷水机组

半导体用高精度涂胶显影冷水机系统研究：闭环温控机制、多模块协同设计

2025/07/10 5

半导体涂胶显影工艺是光刻流程的关键环节之一，涂胶显影冷水机通过准确的温度调节与稳定的热交换机制，为这一过程提供基础保障，其工作原理与应用特性适配涂胶显影的技术需求。 一、温度控制的核心机制 涂胶显影...

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