接触式芯片测试机管路与气动部件保养说明

KSD/KSDR 接触式设备分为制冷冷媒管路、干燥气 CDA 气动管路、Z 轴气动施压三大管路系统，管路与气动部件直接影响控温、样品接触效果。本文分系统讲解定期保养步骤、故障判断标准。

一、确认设备使用工况

二、确认保养周期逻辑

气动气路：每周检查压力、滤芯； 冷媒制冷管路：月度检漏，季度查看管路保温； Z 轴接触气动机构：月度润滑调压； 长期停机前：全管路吹扫泄压。

三、核对核心保养参数

1. CDA 干燥气标准供气压力；
2. Z 轴气动压力调节区间 0~10kg；
3. 冷媒管路允许压力波动范围；
4. 管路接头无渗漏判定标准；
5. 气动气缸润滑周期。

四、匹配分系统保养重点

五、保养操作注意事项

1. 冷媒管路检修设备完全停机降温；
2. 干燥气滤芯出现水汽及时更换，防止样品凝露；
3. Z 轴调压完成后锁紧阀门，避免压力漂移；
4. 管路接头出现油迹、水汽及时排查密封。

六、常见问题 FAQ

1. 气动压力不稳定是什么原因？ 多为滤芯积水、调压阀老化导致。
2. 冷媒接头轻微渗漏可以继续使用吗？ 需要停机重新密封处理，避免冷媒损耗。
3. Z 轴气缸多久润滑一次？ 量产高频工况每月润滑，实验室季度润滑。
4. 干燥气管路堵塞会影响测试吗？ 供气不足低温下易造成晶圆凝露失效。