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半导体产线、实验室到生产淡季或者季节切换阶段，冷热机会开展换季停机封存。封存前核对条件不到位，会出现介质变质、分子筛受潮、密封件老化等一系列问题，再次开机故障多发。封存分为短期待机封存与长期断电完整封存，两类场景核对条件不一样。本文梳理换季停机封存全套核对项目，配套对照表，给出操作要点。
一、换季停机封存核对条件对照表
| 封存项目 | 短期停机 1 30 天可通电 | 长期封存大于 30 天整机断电 |
| 介质状态核对 | 液位正常，介质外观无浑浊 | 取样检测介质，评估排空还是留存 |
| 分子筛处理 | 停机前完成一次再生 | 停机前完整再生，做好回路密封隔离 |
| 管路接头密封检查 | 目视接头无渗漏痕迹 | 目视检查，必要做简易保压检漏 |
| 环境存放条件 | 机房保持干燥通风 | 库房干燥，垫高设备隔绝地面潮气 |
| 电气部件防护 | 关闭工装阀门，做好防尘遮盖 | 断开总电源，电控柜放置干燥剂 |
二、短期停机（1 30 天，设备可以通电）核对项目
1、介质核对：确认补液罐介质液位处于正常区间，目视介质没有浑浊变色；关闭工装进出口手动阀门，隔绝外接工装回路，减少外界水汽粉尘进入主机。 2、分子筛：停机之前执行一次分子筛再生，再生完成，露点回落至正常区间再停机。 3、密封管路：目视检查各个接头、检修门，无渗漏返潮痕迹。 4、环境条件：机房维持干燥通风，不要把设备放置在风口直吹位置；做好整机防尘遮盖。 5、通电计划：制定定期通电计划，每 7 14 天通电空载循环半小时，避免介质静置沉淀。
三、长期封存（大于 30 天，整机断电停机）核对项目
1、介质评估核对：取样检测介质含水率、外观。根据停机时长、库房温度条件，决定介质是留存整套系统，还是全部排空；介质劣化直接排放报废。介质排空之后，冲洗管路，烘干管内壁残留液膜。 2、分子筛处理：停机前完整执行分子筛再生；之后全部管路接头、工装接口加装密封堵头，检修门关紧密封，切断外界水汽侵入路径，保护分子筛填料。 3、密封系统核对：目视检查全部密封点位；条件允许开展简易保压检漏，识别换季温变带来的隐蔽漏点。 4、存放环境核对：存放区域保持干燥，远离有挥发物、高湿区域；设备底部垫高，隔绝地面潮气。 5、电气部件：断开设备总供电电源；清理电控柜浮尘，电控柜内部放置干燥剂；整机加盖防水防尘外罩。 6、建立封存台账，记录封存时间，介质处置方式，下次开机需要检查项目。
四、封存之后复产开机前置核对
无论短期还是长期封存，复产开机，不要直接上芯片样品。核对介质状态，完整排气；复核分子筛露点；空载运行记录压力流量全套参数，确认工况正常，再接入芯片测试工装。
总结
半导体冷热一体机换季停机封存，区分可通电短期停机、整机断电长期封存两套核对条件。重点核对介质状态、分子筛再生、管路密封、存放环境、电气防护。复产开机前完成介质、露点、空载参数核验，减少封存带来的开机故障，保障芯片测试顺利开展。
FAQ
Q：换季封存 25 天，设备可以通电，介质需要排空吗？
A：不需要排空，关闭工装阀门，按计划定期通电空载循环即可。
Q：长期封存，分子筛再生完成就可以直接断电吗？
A：再生之后，需要做好整套回路密封隔离，不然外界水汽依旧会进入回路造成填料受潮。
Q：换季封存复产，开机发现露点偏高，是什么方向优先排查？
A：优先排查封存阶段管路密封是否存在漏气，其次复核分子筛填料状态。
