FLTZ-U-D 系列温控设备集成双路循环 + 冲洗模式,是超纯水温控系列的核心型号,兼具双通道独立运行与模式灵活切换的优势,适配半导体、光伏、电子制造等行业复杂制程的温控需求。

双路循环模式为设备基础运行方式,两路通道(CH1/CH2)均采用闭环介质循环,超纯水在通道内循环复用,经蒸发器换热后输送至工位,换热后回流至设备,重新净化与制冷。该模式可减少超纯水消耗,降低运行成本,适配连续量产工序。
冲洗模式为辅助运行方式,每路通道均可独立切换至冲洗模式,介质单次使用,新鲜超纯水经冷却后输送至工位,换热后直接排出系统,不参与循环。
该模式可避免循环过程中的杂质累积,保障介质ji致洁净度,适配关键工序的精细处理。模式组合灵活,两路通道可实现四种组合:双路循环、双路冲洗、CH1 循环 + CH2 冲洗、CH1 冲洗 + CH2 循环。
例如,半导体产线中,一路通道循环运行用于量产清洗,另一路通道冲洗运行用于关键晶圆的精细清洗,兼顾效率与洁净度。双通道独立设计,两路通道的制冷、介质循环、控制完全独立,温度范围 + 15℃至 + 40℃,控温精度 ±0.1℃,可独立设定温度与流量,互不干扰,适配双工位不同制程参数需求。介质洁净保障,每路通道均配备独立的高精度过滤器,循环模式下持续净化介质,yizhi水垢与杂质生成;冲洗模式下输出新鲜超纯水,电导率稳定 10-18MΩ・cm,避免二次污染,适配高洁净度制程。
控制与切换便捷,配备智能控制系统,通过触摸屏可一键切换单通道或双通道的运行模式,无需停机改造;实时监控两路通道的温度、流量、液位、压力等参数,异常时独立报jing,便于快速定位故障。节能与稳定运行,双路通道均采用变频压缩机与循环泵,根据各自负载自动调节功率,降低能耗;全密闭管路设计减少冷量损耗,提升换热效率;完善的安全保护功能,保障设备长时间连续运行。
FLTZ-U-D 系列设备通过双路循环与冲洗模式的灵活结合,兼顾量产效率、洁净度与运行成本,为复杂制程提供可靠的温控解决方案。

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