半导体动态控温系统

半导体工艺中动态控温系统怎么满足控温需求？

2025/10/11 4

在半导体工艺设备运行过程中，晶圆制造、芯片封装测试等环节对温度环境的要求较为严苛，不同工艺阶段需准确维持特定温区，且温区间需实现平稳切换。动态控温系统作为管理多段温区的核心技术方案，通过温度检测、...

查看全文