适用范围

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保ji端⼯况下持续稳定运⾏；支持leng却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与jing准控制。