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单通道系列Chiller

单通道系列Chiller

Chiller高精度冷热循环器 440

单通道系列 Single Channel Chiller

产品特点

特点一温度范围：-100~+90℃，控温精度：±0.01℃（出口温度稳态）
特点二采用先jin的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发
特点三40℃以内加热方式采用压缩机热气加热，无需加热器
特点四采用先进的变频技术，实现gao效节能

 

产品介绍产品型号

应用范围

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度jing准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
Chillers的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行quan面管理监控记录。

加载情况下控温精度高，可在-100℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性；先进的低温制冷技术，支持-100℃~ -80℃超低温控温。

 

型号 FLTZ-002
FLTZ-002W		 FLTZ-003
FLTZ-003W		 FLTZ-004
FLTZ-004W		 FLTZ-006
FLTZ-006W		 FLTZ-008
FLTZ-008W		 FLTZ-010
FLTZ-010W		 FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围 5℃～90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
制冷量at10℃ 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控制10℃以上）
进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 950*380*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150
型号 FLTZ-202
FLTZ-202W		 FLTZ-203
FLTZ-203W		 FLTZ-204
FLTZ-204W		 FLTZ-206
FLTZ-206W		 FLTZ-208
FLTZ-208W		 FLTZ-210
FLTZ-210W		 FLTZ-215
FLTZ-215W
温度范围  -25℃～90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX 10～25L/min 15～45L/min 25～75L/min
制冷量at-15℃ 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

 

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W		 FLTZ-403
FLTZ-403W		 FLTZ-404
FLTZ-404W		 FLTZ-406
FLTZ-406W		 FLTZ-408
FLTZ-408W		 FLTZ-410
FLTZ-410W		 FLTZ-415
FLTZ-415W
温度范围  -45℃～90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX 10～25L/min  5bar max 15～45L/min 5bar max 25～75L/min 5bar max
制热 采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃ 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水接口 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*50*150 108*50*150

 

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
温度范围  -80℃～+90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX 7～25L/min  5bar 12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
加热功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
导热介质 氟化液
进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷却水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水at20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
断路器 25A 25A 32A 40A 50A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

 

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W
温度范围  -100℃～+90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX 7～25L/min 12～45L/min
制冷量at-90℃ 1.5kW 3kW
加热功率 3.5kW 5.5kW
内循环液容积 5L 8L
膨胀罐容积 10L 15L
导热介质 氟化液
导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4
冷却水接口 Rc3/4 Rc1
冷却水at20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
断路器 32A 63A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

 

型号 FLTZ-001S FLTZ-002S
FLTZ-002WS		 FLTZ-003S
FLTZ-003WS		 FLTZ-004S
FLTZ-004WS		 FLTZ-006S
FLTZ-006WS		  FLTZ-008WS FLTZ-010WS
温度范围 15℃～25℃
控温精度 ±0.005℃  设备出口温度控制精度
流量 7L/min 3bar 15L/min  at 4bar 30L/min at 4bar 75L/min  at  4bar
制热 采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量@20℃ 3kW 7kW 10.5kW 14kW 21kW 28kW  35kW
液体容积 8L 15L 20L 30L 50L 60L 80L
制冷剂 R1234fa     （ODP=0   GWP=4）
载冷剂 纯净水
控制器 PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算法
温度控制 导热介质出口温度控制模式 pt100
外接温度传感器：（PT100或4～20mA或通信给定）控制模式（串级控制）
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
RS485接口 modbus RTU协议
设备内部温度反馈 设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、压缩机排吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
系统压力 制冷系统压力采集高低压压力传感器
循环系统压力采集进出口位置采用压力传感器
循环泵 磁力无机械密封循环泵
蒸发器 板式换热器
冷凝器 微通道冷凝器（风冷）
板式换热器（水冷），特别注意：需要使用清洁厂务水
制冷节流 电子膨胀阀
操作面板 7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；压力保护，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
系统捡漏 制冷系统100%氦检出厂  循环系统100%氦检出厂
进出接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
外壳 冷轧板喷塑RAL7035

 

型号 FLTZ-002
FLTZ-002W		 FLTZ-003
FLTZ-003W		 FLTZ-004
FLTZ-004W		 FLTZ-006
FLTZ-006W		 FLTZ-008
FLTZ-008W		 FLTZ-010
FLTZ-010W		 FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围 5℃～90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
制冷量at10℃ 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控制10℃以上）
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 950*380*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

 

型号 FLTZ-202
FLTZ-202W		 FLTZ-203
FLTZ-203W		 FLTZ-204
FLTZ-204W		 FLTZ-206
FLTZ-206W		 FLTZ-208
FLTZ-208W		 FLTZ-210
FLTZ-210W		 FLTZ-215
FLTZ-215W
温度范围  -25℃～90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX 10～25L/min 15～45L/min 25～75L/min
制冷量at-15℃ 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

 

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W		 FLTZ-403
FLTZ-403W		 FLTZ-404
FLTZ-404W		 FLTZ-406
FLTZ-406W		 FLTZ-408
FLTZ-408W		 FLTZ-410
FLTZ-410W		 FLTZ-415
FLTZ-415W
温度范围  -45℃～90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX 10～25L/min  5bar max 15～45L/min 5bar max 25～75L/min 5bar max
制热 采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃ 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水接口 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*50*150 108*50*150

 

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
温度范围  -80℃～+90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX 7～25L/min  5bar 12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
加热功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
导热介质 氟化液
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水at20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
断路器 25A 25A 32A 40A 50A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

 

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W
温度范围  -100℃～+90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX 7～25L/min 12～45L/min
制冷量at-90℃ 1.5kW 3kW
加热功率 3.5kW 5.5kW
内循环液容积 5L 8L
膨胀罐容积 10L 15L
导热介质 氟化液
导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG1
冷却水at20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
断路器 32A 63A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

 

型号 FLTZ-001S FLTZ-002S
FLTZ-002WS		 FLTZ-003S
FLTZ-003WS		 FLTZ-004S
FLTZ-004WS		 FLTZ-006S
FLTZ-006WS		  FLTZ-008WS FLTZ-010WS
温度范围 15℃～25℃
控温精度 ±0.005℃  设备出口温度控制精度
流量 7L/min 3bar 15L/min  at 4bar 30L/min at 4bar 75L/min  at  4bar
制热 采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量@20℃ 3kW 7kW 10.5kW 14kW 21kW 28kW  35kW
液体容积 8L 15L 20L 30L 50L 60L 80L
制冷剂 R1234fa     （ODP=0   GWP=4）
载冷剂 纯净水
控制器 PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算法
温度控制 导热介质出口温度控制模式 pt100
外接温度传感器：（PT100或4～20mA或通信给定）控制模式（串级控制）
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
RS485接口 modbus RTU协议
设备内部温度反馈 设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、压缩机排吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
系统压力 制冷系统压力采集高低压压力传感器
循环系统压力采集进出口位置采用压力传感器
循环泵 磁力无机械密封循环泵
蒸发器 板式换热器
冷凝器 微通道冷凝器（风冷）
板式换热器（水冷），特别注意：需要使用清洁厂务水
制冷节流 电子膨胀阀
操作面板 7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；压力保护，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
系统捡漏 制冷系统100%氦检出厂  循环系统100%氦检出厂
进出接口尺寸 G1/2 G3/4 G3/4 G3/4 G3/4 G1 G1
冷却水接口 G1/2 G1/2 G3/4 G3/4 G3/4 G1 G1
外壳 冷轧板喷塑RAL7035

 

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