无锡冠亚智能装备有限公司
接触式高低温测试机
设备应⽤温度范围-75~+200℃，⽀持从极低温到⾼温的快速升温和降温，最快速率可达到75℃/min，能够精确的控制温度，误差通常在±0.2℃以内。
应⽤于芯⽚研发：在芯⽚设计阶段，验证其在不同温度下的性能表现；
质量控制：在芯⽚⽣产过程中，进⾏可靠性测试，确保产品符合标准；
失效分析：通过⾼低温测试，分析芯⽚在极端温度下的实效模式。
| 设备型号 | KSD-705 | KSD-705PULS | KSD-710 | |
| 温度范围 | -70℃~+200℃ | -75℃~200℃ | -75℃~200℃ | |
| 温度精度 | ±0.2℃ | |||
| 升降温速率 | 最高达75℃/min | |||
| 制冷能力 | 0℃ | 800W | 1000W | 2000W |
| -40℃ | 500W | 800W | 1500W | |
| -55℃ | 300W | 450W | 900W | |
ZLTZ直冷控温机组Chiller
新型直冷机适用于半导体、数据中心、新能源等需要高效、紧凑、可靠且精确散热的行业,尤其是在功率密度高、空间受限且对温度敏感的领域有显着优势。新型直冷机无二次换热,相比于传统液冷设备,减少二次换热带来的传热损失,提升能效30%以上。新型直冷机能够提供纯液态的换热介质,相比于传统直冷机气液两相混合的换热介质,新型直冷机充分利用制冷剂的潜热换热,换热密度大幅提高,所需的换热面积减少,能够满足半导体等行业高功率密度的需求。新型直冷机具备多路供液的能力,可精确控制每个支路的制冷量,满足各
支路的控温需求。新型直冷机采用PT100高精度温度传感器和PID智能控制系统,温度误差范围极小,控温精确可靠。
| 型号 | ZLTZ-3 ZLTZ-3W |
ZLTZ-6 ZLTZ-6W |
ZLTZ-10 ZLTZ-10W |
ZLTZ-15W | |
| 温度范围 | -10℃ ~25℃ | ||||
| 制冷量 | 0℃ | 8.1kW | 16.25kW | 28.5kW | 40.2kW |
| -10℃ | 5.48kW | 11kW | 19.35kW | 26.6kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ28 | φ28 |
| 回口 | φ20 | φ20 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2m3/h | 4m3/h | 6.2m3/h | 10m3/h |
| 冷却水接口 | G3/4 | G3/4 | G1 | G1 1/4 | |
| 型号 | ZLTZ4-3 ZLTZ4-3W |
ZLTZ4-6 ZLTZ4-6W |
ZLTZ4-10 ZLTZ4-10W |
ZLTZ4-15W | |
| 温度范围 | -40℃ ~20℃ | ||||
| 制冷量 | -10℃ | 5.2kW | 11.15kW | 18.4kW | 26.3kW |
| -20℃ | 3.47kW | 7.41kW | 12.3kW | 18.35kW | |
| -30℃ | 2.24kW | 4.81kW | 7.92kW | 11.8kW | |
| -40℃ | 1.36kW | 2.95kW | 4.7kW | 5.83kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ16 | φ22 |
| 回口 | φ22 | φ22 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2m3/h | 4.2m3/h | 5.3m3/h | 6.2m3/h |
| 冷却水接口 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G1 | |
| 型号 | ZLTZ8-3 ZLTZ8-3W |
ZLTZ8-6 ZLTZ8-6W |
ZLTZ8-10 ZLTZ8-10W |
ZLTZ8-15W | |
| 温度范围 | -80℃~ -30℃ | ||||
| 制冷量 | -30℃ | ||||
| -40℃ | 6.9kW | 14.8kW | 24.4kW | 36.7kW | |
| -60℃ | 3.3kW | 7.1kW | 12kW | 17.4kW | |
| -75℃ | 1.65kW | 3.55kW | 6kW | 8.7kW | |
| 接口尺寸 | 出口 | φ12 | φ12 | φ16 | φ22 |
| 回口 | φ22 | φ22 | φ35 | φ35 | |
| 水冷 | 25℃ | 2.7m3/h | 5.3m3/h | 6.68m3/h | 9.3m3/h |
| 冷却水接口 | G3/4 | G3/4 | G1 | G1 1/4 | |
ZLJ系列
将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件（换热器）换热，从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体（气体）输送入换热器换热能力更高，这样特别适用于换热器换热面积小，但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用，将制冷剂直接通入捕集器蒸发，通过捕集器表面冷凝效应，迅速捕集空间中的气体。
| 型号 | ZLJ-41 | ZLJ-43 | ZLJ-46 |
| ZLJ-41W | ZLJ-43W | ZLJ-46W | |
| 温度范围 | -40℃～-15℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃（出口温度稳态） | ||
| 制冷AT-35℃ | 0.5kw | 1.6kw | 3.2kw |
| 制冷剂 | R404A 可选配R507C R448 | ||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||
| 尺寸 | 320*400*600 | 800*700*600 | 450*700*1350 |
| 断路器 | 6A | 6A | 16A |
| 型号 | ZLJ-81 | ZLJ-83 | ZLJ-86 |
| ZLJ-81W | ZLJ-83W | ZLJ-86W | |
| 温度范围 | -80℃～-50℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃（出口温度稳态） | ||
| 制冷AT-70℃ | 0.4kw | 1.3kw | 2.5kw |
| 制冷剂 | R404A/R508B | ||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||
| 尺寸 | 320*630*650 | 950*1000*800 | 550*1000*1750 |
| 断路器 | 10A | 16A | 25A |
| 型号 | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
| 温度范围 | -150℃～-110℃ | |||
| 制冷AT-120℃ | 3KW | 4KW | 6KW | 11KW |
| 制冷AT-135℃ | 2.5KW | 3.3KW | 5KW | 9KW |
| 制冷剂 | LNEYA -150混合制冷剂 | |||
| 尺寸 | 750*750*1750 | 750*750*1750 | 950*1000*2050 | 1300*2000*3500 |
| 断路器 | 40A | 55A | 65A | 100A |
快速温变控温卡盘CHUCK
该产品可以实现快速温度变化，精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机，避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗，每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。
系统提供开放的表⾯平整⼯作平台，快速升降温、恒温控制，运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试，也可以运⽤于实验室平板快速冷却（⾎浆、⽣物制品、电池）等
平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式，相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率，提⾼单位⾯积平板的换热功率。
| 温度范围 | -70℃~200℃（可以定制各种温度范围） |
| 温度均匀性 | 土0.5℃ |
| 加热速率 | -55℃至+25℃：12 分钟 -40℃至+25℃：10 分钟 +25℃至+150℃：20 分钟 +25℃至+200℃：28 分钟 +25℃至+300℃：40 分钟 |
| 冷却速率 | +150℃至+25℃：25 分钟 +200℃至+25℃：30 分钟 +300℃至+25℃：40 分钟 +25℃至0℃：15 分钟 +25℃至-40℃：35 分钟 +25℃至-55℃：65 分钟 |
| 冷却方式 | 直冷系统/液冷系统/气冷系统 |
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确FII调节控温 |
| 晶圆载板 | 镀镍(金/非导电)，与卡盘柔性连接，方便更换，载板平面度3μm≤10μm |
| 晶圆吸附类型 | 真空吸附 |
| 卡盘尺寸 | φ330*58mm |
| 电源220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
| 通讯方式 | ModbusRTU协议,RS485接口，选配CAN通信总线、以太网接口TCP/IP协议 |
