CO₂制冷机

CO₂制冷机在半导体行业有哪些应用优势与核心场景？

2026/01/16 3

CO₂制冷机（以CO₂为制冷剂）在半导体领域主要用于工艺冷却、超临界流体处理及环境控温，其稳定、有效且准确的特性，正逐步替代传统含氟制冷剂。 一、半导体制造对冷却的需求 半导体制造对温度控制要求苛刻，具体...

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