晶圆制造控温设备

冷板用FLTZ半导体Chiller如何选型？直冷与液冷方案说明

2026/06/04 7

冷板用FLTZ半导体Chiller主要用于芯片、CPU、AI芯片、功率模块、测试夹具和多工位测试平台的热管理测试。冷板控温方案通常包括液冷循环方案和直冷方案。液冷方案需要关注分液、流量、压力和温度一致性；直冷方案...

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