高温半导体Chiller在测试与工艺控温中的应用 2026/06/05 3 摘要 高温半导体Chiller用于较高温区的半导体测试、卡盘控温、面板控温、可靠性验证和外部换热模块控温。该类设备通常需要兼顾制冷、加热、温度维持和程序控制。选型时需要确认目标温度、加热功率、控温精度、升... 查看全文