工业级半导体老化测试chamber结构优化与长期稳定运行的技术实现 2025/07/25 15 在半导体制造的可靠性测试环节,工业级半导体老化测试chamber需在长期高负荷运行中保持稳定性能,以满足大规模器件测试的连续性与准确性要求。其耐用性设计涉及机械结构、温控系统、材料选择及防护机制等多个维度... 查看全文