半导体控温

半导体控温中的传热介质如何选择？氟化液、DI纯水与硅油说明

2026/06/08 4

摘要 半导体控温Chiller选型中，传热介质是影响温度范围、循环压力、换热效率、材料兼容性和运行维护的重要因素。常见介质包括氟化液、DI纯水、二甲基硅油及其他导热介质。不同介质适用于不同温区和工艺场景。选...

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