工艺冷却系统Chiller凭借其高精度、宽温域、快速响应和定制化能力,在多个对温度控制要求严苛的行业中表现尤为突出。

一、半导体与集成电路制造(核心优势领域)
应用场景:
晶圆前道:光刻、刻蚀(Etch)、化学气相沉积(CVD)、离子注入、退火、CMP等;
封装测试:晶圆级封装(WLP)、高温老化(HTOL)、温度循环测试(TCT);
设备配套:为刻蚀机、薄膜沉积设备、激光退火系统提供ESC(静电吸盘)温控。
突出表现:
控温精度达 ±0.01℃ ~ ±0.1℃;
支持 -20℃ ~ +200℃ 快速切换,满足先进制程热管理需求;
全密闭系统避免冷却液污染洁净室环境;
行业地位:国产半导体温控设备供应商之一,是国际品牌的替代选择。
二、新能源(锂电 & 光伏 & 氢能)
锂电池制造:
材料共沉淀反应控温(50~60℃恒温);
电池模组高低温性能测试(-40℃~85℃);
固态电池烧结工艺中的程序升降温控制。
光伏与氢能:
HJT异质结电池PECVD腔体冷却;
质子交换膜(PEM)电解槽热管理;
氢燃料电池板测试平台温控。
优势:
高可靠性支持7×24小时连续运行;
可选防爆机型,适配电解液、氢气等危险环境。
三、生物医药与制药工程
典型应用:
高活性药物(HPAPI)合成中的强放热反应控温;
冻干(Lyophilization)预冷阶段;
熔融结晶工艺(控制晶型与粒径);
生物反应器夹套冷却。
合规性支持:
提供兼容设计;
四、精细化工与新材料合成
适用工艺:
聚酰亚胺(PI)、环氧树脂、聚氨酯等聚合反应;
连续流微反应器温控;
纳米材料水热/溶剂热合成;
特种涂料固化过程控温。
技术亮点:
支持 200~300℃高温导热油循环;
全密闭系统防止高温氧化,延长介质寿命;
可集成紧急冷却功能,应对失控反应。
五、航空航天与装备制造
应用场景:
碳纤维复合材料热压罐辅助控温;
卫星光学载荷热真空试验;
高功率激光器(光纤/CO₂)冷却;
发动机部件热疲劳测试。
优势:
宽温域(-120℃~300℃)覆盖严苛工况;
模块化设计便于集成到大型测试台架;
支持多通道独立控温,模拟复杂热场。
六、科研与高校实验室
典型用户:
各研究所高校;
实验室(如微电子、量子信息、材料科学)。
设备特点:
噪音低,适合实验室环境;
小型化机型桌面可用。
工艺冷却系统Chiller并非“通用冷水机”,而是面向“高技术门槛、高附加值、高可靠性”场景的专业温控解决方案提供商。如您所在行业有特定温控挑战,通常能提供针对性控温方案。
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