17851209193

全站搜索

Chiller高精度冷热循环器

Chiller高精度冷热循环器

冠亚恒温制冷代表国际先进的液体温度控制技术,积极探索和研究元件测试系统,主要用于医药化工、新能源、半导体、航空航天测试中的温度测试模拟,具有宽的温度方向和高温升降,温度范围:-100°C~+90°C,控温精度高达:±0.01℃适用于各种测试要求。

产品有流体氟化液控温(最低-100度)、支持多通道连续控温。所有设备出厂前经过100%氨检测,100%安规检测,确保系统安全可靠性。40℃以内加热方式采用压缩机热气加热,Chiller循环系统采用全密闭设计、采用磁力驱动泵,拥有高效的生产稳定性和可重复性结果,满足复杂控温需求,支持非标定制。


单通道系列chiller

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,控温范围:-100℃~+90℃;控温精度:±0.01℃。公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。

chiller 的排吸气温度(压力)、冷凝温度、冷却水温度(压力)、进出液体(气体)温度(压力)、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

FLTZ  5℃~+90℃

型号 FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围 5℃~+90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量AT10℃ 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW

FLTZ  -25℃~+90℃

型号 FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
温度范围 -25℃~+90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量AT-15℃ 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW

FLTZ  -45℃~+90℃

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
温度范围 -45℃~+90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量AT-35℃ 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW

FLTZ  -80℃~+90℃

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
温度范围  -80℃~+90℃
控温精度
  1. ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量/压力 MAX 7~25L/min  5bar 12~45L/min 6bar

FLTZ  -100℃~+90℃

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W
温度范围  -100℃~+90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量 MAX 7~25L/min 12~45L/min
制冷量at-90℃ 1.5kW 3kW

FLTZ  15℃~+25℃

型号 FLTZ-001S FLTZ-002S
FLTZ-002WS
FLTZ-003S
FLTZ-003WS
FLTZ-004S
FLTZ-004WS
FLTZ-006S
FLTZ-006WS
 FLTZ-008WS FLTZ-010WS
温度范围 15℃~25℃
控温精度 ±0.005℃  设备出口温度控制精度
流量 7L/min 3bar 15L/min  at 4bar 30L/min at 4bar 75L/min  at  4bar

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。


双通道系列chiller

多通道独⽴控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等,采⽤独⽴的两套系统,根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷,或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统,系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等,可以有效减少设备尺⼨,减少操作步骤。

FLTZ -20℃~+90℃

型号 FLTZ-203W-2T
管道 通道1 通道2
温度范围 -20℃~+90℃ -20℃~+90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备) ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量 4kW@-10℃ 4kW@-10℃
冷却水流量 20L/min 20L/min

FLTZ -45℃~+80℃

型号 FLTZ-406W/ETCU-015W
管道 通道1 通道2
温度范围 -45℃~+40℃ +10℃~+80℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备) ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量 11kW@-20℃  5kW@-40℃ 13kW@+10℃
冷却水流量 40L/min 20L/min

FLTZ -45℃~+90℃

型号 FLTZ-203W/2T双系统 FLTZ-305W/2T双系统 FLTZ-406W/2T双系统
温度范围 -20℃~+90℃ -30℃~+90℃ -45℃~+90℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量压力 15~45L/min , 6 bar max
制冷量 3kW@-15℃ 3kW@-15℃ 5kW@-15℃ 5kW@-15℃ 2.5kW@-35℃ 2.5kW@-35℃
冷却水流量 50L/min@20℃ 60L/min@20℃ 50L/min@20℃

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度,加载情况下控温精度可达±0.1C,可在-20℃~+100℃之间任意切换,具有良好的温度跟随性。

三通道 -10℃~+80℃

型号 FLTZ-203W/ETCU-008W
管道 通道1 通道2 通道3
温度范围 -10℃~+60℃ +30℃~+80℃ -10℃~+80℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备) ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备) ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量 4kW@-10℃/21kW@20℃ 6kW@+30℃ 3kW@-10℃
冷却水流量 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。


三通道 -30℃~+100℃

型号 FLTZ-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道 通道1 通道2 通道3
温度范围 -20℃~+50℃ +30℃~+100℃ -30℃~+40℃
控温精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备) ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备) ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量 15kW@-10℃ 13kW@PCW+15℃ 8kW@PCW+10℃
冷却水流量 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃

双通道高温chiller

本设备的研发⽬的是开发⼀种专⽤高温控温的Chiller,用来满足半导体⾼温测试需求。

创新点:介质温度最高可达250℃;以特殊的⼯艺方式,保证系统高温⼯况下的控温精度。

 

 

 

FLTZH 40℃~+250℃

型号 FLTZH-5W/2T
介质温度范围 40℃~+250℃
温控点控制模式 本体出液口温控控制模式
本体回液口温度控制模式
CHUCK入口温度控制模式(通信)
CHUCK回口温度控制模式(通信)
CHUCK本体温度控制模式(通信)
外接入温度反馈 通过通信
介质出口温控精度 ±0.1℃
CHUCK温控精度 ±0.5℃
加热功率 5.5kW 5.5kW
冷却能力 kW  AT 250 ℃ 5.5kW 5.5kW
150 ℃ 5kW 5kW
100 ℃ 4kW 4kW
50 ℃ 2kW 2kW
流量/压力 8L/min 4bar 8L/min 4bar

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。


帕尔贴chiller

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃,专为半导体行业度身定制;
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理,帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制;
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制,使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺;
快速和精确的温度控制,能够满足任何严苛的工艺要求;

TEC -20℃~90℃

型号 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W
温度范围 -20℃~90℃
控温精度 ±0.1℃
制冷能力 20℃ 1200W 2450W 4500W
10℃ 900W 1925W 3500W
0℃ 600W 1400W 2600W
 -10℃ 350W 875W 1600W
 -20℃ 80W 350W 700W
制热能力 >3000W >6000W >12000W

负压型控温机组chiller

负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制,原理:通过负压发⽣器驱动导热介质(⽔/油)循环,避免泄漏风险,适用于各种类型板卡冷却。

 

设备名称 负压循环温控设备
设备型号 ZLFQ-80
额定换热量 80kW
一次侧
(介质侧)
工作介质 纯水、氟化液、乙二醇水溶液等
额定流量 300L/MIN
储液容积 120L
供回液温度 25/35℃
温控精度 ±0.3℃
真空泵抽气量 130m³/h
负压压头 70KPA
内循环泵配置 1+1冗余
介口尺寸 ZG1-1/4
二次侧
(冷却侧)
冷却介质 PCW
冷却流量 4m³/h
过滤精度 50um
介口尺寸 ZG1

 

 

 

 

冠亚恒温制冷提供7*24的免费咨询,您只需要提供自己控温需求,由我们给你提供全面的解决方案!

联系我们:17851209193

您好!欢迎访问无锡冠亚智能装备有限公司官网
免费预约体验课程

loading...

购物车

X

我的足迹

X